原帖由 @chaosblue 于 2020-9-22 23:19 发表
光刻机一代，甚至于相当于一代的改进就能支撑芯片几代的工艺，euv光刻机也够芯片厂用很久了。从浸入式ArF到euv都有十几年了。今后asml应该只要在euv上做些小改进，基本上躺着赚钱。euv就是护城河，尼康应该做不出这种光源，最多做得了光学系统。
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